Walter Uhl
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technische Mikroskopie GmbH & Co. KG

Sonderlösungen

SonderlösungenAuf Anfrage entwickeln wir Sondergeräte für die vielfältigsten Anwendungsbereiche.

Dazu zählen z.B. Spezialobjektive, Tubusaufbauten aus unserem Bauteileprogramm, Sonderkreuz-, Hub- und Drehtische, ein- oder mehrachsige Stativaufbauten,  Passlochstanzen oder Mikromontageplätze.

Durch unsere eigene Konstruktion, Fertigung, Montage und Service erhalten Sie ein Komplettsystem aus einer Hand.

 Hier sind einige Beispiele kundenspezifischer Sonderlösungen:


 

Kundenspezifisches konfokales Mikroskop zur Waferinspektion

konfokales Mikroskop zur Waferinspektion


Vakuum-Waferchuck

 

 

 

 


 

Kundenspezifisches Positioniersystem mit Stativ für OEM-Mikroskop

Kundenspezifisches Positioniersystem mit Stativ für OEM-Mikroskop


stabiles Staiv aus Granit und Grauguss
  mit manueller Z-Verstellung

leistungsfähige Schrittmotorsteuerung F9S-3-M mit
  Joystick und serieller Schnittstelle

 

Kreuztisch GT8, Rundtisch RT5, Wafer-Chuck WC6

  • präziser Kreuztisch GT8 mit 200 x 200 mm Hub

  • Drehtisch RT5 mit hoher Rund- und
     Planlaufgenauigkeit unter 5 µm

   
Wafer-Chuck WC6 für 4-12" Wafer   • Wafer-Chuck mit Vakuum-Ansaugung
     für 12", 10", 8", 6" und 4" Wafer